ในกระบวนการอบฟิโลเรซิสต์ แม้จะมีการเบี่ยงเบนของอุณหภูมิเพียงครึ่งองศาเดียว ก็เพียงพอที่จะทำให้ค่ามาตรฐานทางเทคนิคเปลี่ยนไปได้ นอกจากนี้ หากการอบวัตถุดิบไม่เป็นไปอย่างรวดเร็ว ก็จะทำให้เวลาในการประมวลผลยืดออกไป และเพิ่มโอกาสในการเกิดมลพิษที่ผิววัตถุดิบได้ นั่นคือเหตุผลที่เราติดตั้งเครื่องทำความร้อนในห้องสะอาดไว้บนรถเข็น เพื่อลดความผันผวนในกระบวนการผลิต
สิ่งที่เราออกแบบมาเพื่อให้มันทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ
เราออกแบบเครื่องทำความร้อนนี้ให้สามารถทำงานได้ภายในขอบเขตอุณหภูมิที่กำหนดสำหรับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ โดยเราควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C และมีความแม่นยำสูง โดยมีระบบควบคุมที่ได้รับการปรับแต่งมาเพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ส่วนองค์ประกอบที่ใช้ในการสร้างความร้อนนั้นเป็นอินฟราเรดคลื่นสั้น ทำให้มีการตอบสนองที่รวดเร็ว และการแจกจ่ายพลังงานก็เป็นไปอย่างสม่ำเสมอ ส่วนตัวเครื่องนั้นถูกออกแบบมาให้เหมาะกับการใช้งานในห้องสะอาด โดยมีการปิดผนึกตะเข็บอย่างดี เพื่อไม่ให้มีฝุ่นละอองเกิดขึ้น ส่วนขนาดของเครื่องก็เหมาะสมกับรถเข็นมาตรฐาน ทำให้ไม่มีปัญหาในการนำมาใช้งานร่วมกับรถเข็นอื่นๆ
สถานที่ที่เครื่องนี้สามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ
เครื่องนี้สามารถทำงานได้ในกระบวนการต่างๆ เช่น การอบวัตถุดิบ การอบฟิโลเรซิสต์ การอบวัสดุปิดผนึก และการอบหลังจากการทำความสะอาด การที่เครื่องสามารถทำงานได้อย่างรวดเร็ว ช่วยลดเวลาในการอบ โดยไม่ส่งผลกระทบต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์ นอกจากนี้ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิยังช่วยลดข้อบกพร่องที่ขอบของวัตถุดิบ และเพิ่มอัตราการผลิตได้อีกด้วย นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะความร้อนถูกส่งมอบตามความต้องการ ไม่ใช่การส่งความร้อนจากห้องอบขนาดใหญ่ ส่วนเวลาการทำงานนั้นก็เป็นสิ่งสำคัญมาก เพราะเครื่องนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีปัญหาในการบำรุงรักษา
ข้อควรระวังในการใช้งาน
การจัดวางเครื่องนั้นมีความสำคัญมาก ควรให้กระแสลมไหลในทิศทางเดียวกับถาดวัตถุดิบ และควรมีช่องว่างสำหรับการหมุนเวียนอากาศในห้องสะอาด เพื่อไม่ให้เกิดกระแสลมที่ไม่พึงประสงค์ ในขณะติดตั้ง ควรตรวจสอบระยะห่างระหว่างรางรถเข็นและชนิดของตัวเชื่อมต่อด้วย เพราะความผิดพลาดเล็กน้อยก็อาจส่งผลต่อการเปลี่ยนกระบวนการผลิตได้ เครื่องนี้สามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพในสภาพอุณหภูมิ 22±2°C และความชื้น 45±5% หากอุณหภูมิหรือความชื้นเกินขอบเขตนี้ ความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิก็จะลดลง