Yarı iletken yıkama işlemlerindeki ısı sızıntısını durdurmak Eğer yarı iletken yıkama işlemleriyle ilgilenmişseniz, bu sürecin ne kadar zor olduğunu biliyorsunuzdur. Wafer’ı belirli bir sıcaklıkta tutmaya çalışırken, makinenin iç kısmı adeta bir fırına dönüşüyor. Standart Kızılötesi lambalar aslında ısıyı her yöne saçan lambalardır. Bu durum oldukça sorunlu; çok fazla enerji harcanıyor ve ekipmanın gövdesi öyle yüksek sıcaklıklara ulaşıyor ki bu da ciddi bir güvenlik riski oluşturuyor. Daha iyi bir çözüm olduğunu düşündük:Yöneltilebilir kızılötesi ışınlar. Isıyı doğru yere yönlendirmek Yöneltilebilir ısıtma yönteminin avantajı, ısının gereksiz yerlere yayılmasını engellemesidir. Isı, makinenin duvarlarına değil, tam da ısıtılması gereken yüzeye yönlendirilir. Bu sayede wafer üzerinde gerekli olan ısı yoğunluğu elde edilir ve makinenin gövdesi aşırı ısınmaz. Enerjiniz boşa harcanmaz; doğrudan işe yarar. Nemli ortamlarla başa çıkmak Yıkama ortamları doğası gereği nemlidir. Bu durum standart lambalar için büyük bir sorundur. Normal bir lambayı buraya koyarsanız, nemin etkisiyle lamba muhtemelen hasar görür veya patlar. Bunu çözmek için kuvars kaplamalar ve özel su geçirmez contalar kullandık. Elektrot bağlantılarının sıkıca kilitlenmesini sağladık böylece sıvıların içeri girmesi engellendi. Böylece lambalar, yoğun yıkama işlemleri sırasında bile çalışmaya devam edebiliyor. Zorluklar ve bunların nasıl üstesinden gelinir Elbette bazı zorluklar var. Işın çok yoğun olduğu için odak noktasındaki ısı yoğunluğu da çok yüksektir. PID kontrol cihazları konusunda dikkatli olmalısınız; eğer doğru ayarlanmazlarsa hedef sıcaklığın üzerine çıkılır. Ayrıca odak uzaklığına da dikkat etmelisiniz; eğer birkaç milimetrelik bir sapma olursa wafer üzerindeki ısı dağılımı bozulur. Bu oldukça hassas bir durum, ancak buna değer. Ayrıca HVAC sisteminiz de size minnettar kalacaktır. Makinenin kendi gövdesiyle sıcaklık kontrolü yapmak zorunda kalmadığınız için tüm sistem daha serin kalır. Bu da ekipmanı kullanan insanlar için daha güvenli olmasını sağlar. Ayrıca iç bileşenler de zamanla aşırı ısınmadan zarar görmez. Tüm bunları sağlamak için özel bir kontrol cihazı kullanarak ayarları sıkı tutmanız yeterlidir.