Vakum odasının duvarlarını ısıtmayı bırakın Vakum altında bir wafer veya substratı ısıtmaya çalışırken, enerjinin tek bir yere gitmesini istersiniz:...

Vakumlu Kızılötesi Sistemlerde Isı Uygulaması Yarı iletken üretirken çok büyük miktarda ısıya ihtiyaç duyulur; ancak waferin kirlenmesine izin vermek...