Vakumlu Kızılötesi Sistemlerde Isı Uygulaması
Yarı iletken üretirken çok büyük miktarda ısıya ihtiyaç duyulur; ancak waferin kirlenmesine izin vermek mümkün değildir. Standart dirençli ısıtıcılar bu durum için yeterli değildir. Bu yüzden vakumla uyumlu kızılötesi lambalar kullanılır. Bu lambalar, ısıyı bir aracı olmaksızın doğrudan hedefe yönlendirir. Bu daha temiz bir çalışma yöntemidir. Ayrıca, “yeşil fabrika” kurmak isteyenler için de büyük bir avantajdır; çünkü gereksiz yerlerde enerji israf edilmemiş olur.
Fiziksel süreç nasıl işler?
Vakumda konveksiyon olmadığı için sadece radyasyon kalır. Kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar, uzun dalga boylulara kıyasla malzemelerin içinden çok daha hızlı geçer. Bunun avantajı, enerjinin doğrudan hedefe yönlendirilmesidir. Böylece tüm vakum odasını ısıtarak enerji israf edilmemiş olur. Böylece elektrik tüketiminiz azalır ve verimliliğiniz artar.
Ancak güç yoğunluğuna dikkat etmek gerekir. Eğer yüksek güçlü lambaları doğru kuvars kaplaması olmadan vakuma yerleştirirseniz, filamentler hızla yanar. Bu yüzden yüksek saflıkta kuvars kullanılır. Aksi takdirde vakum sızdırmazlığı bozulur ve silikon kirlenir. Bu da işlerin kötü gitmesine neden olur.
Fabrika alanının temizlenmesi
Eğer hâlâ eski fırın tipi ısıtıcıları kullanıyorsanız, devasa bir odanın ısınmasını beklemenin ne kadar zor olduğunu biliyorsunuzdur. Bu süreç çok uzun sürer. Hedeflenen sıcaklığa ulaşmak ise saniyeler alır. Bu sayede hem dünya hem de elektrik faturanız için iyi bir çözüm elde edilmiş olur. İlk olarak, maksimum güç tüketimi azalır. İkincisi ise HVAC sisteminin odayı soğutmak için çok fazla çaba harcamasına gerek kalmaz.
Değerlendirme ve tavsiyeler
Kızılötesi ısıtma mucizevi bir çözüm değildir. Yoğunluk çok yüksek olduğundan, lambanın geometrisi waferle tam olarak uyuşmazsa sıcak noktalar oluşabilir. Her şeyin eşit şekilde ısınması için sağlam bir PID kontrolcüye ihtiyaç vardır. Ayrıca, soğutma suyu sisteminizin lambanın arkasından gelen radyasyona dayanıklı olup olmadığını kontrol edin. Aksi takdirde vakum sızdırmazlığı bozulur. Doğru mesafeyi ayarlamazsanız hafta sonlarını contaları değiştirerek geçirmek zorunda kalırsınız.