На стадії літографії навіть напівградусна зміна температури під час процедури випалювання може призвести до зміни критичних розмірів деталей на рівні нанометрів. Це не просто ефект тепла – це контроль, чистий і простий.
Стандартні лампи можуть створювати озон; цей залишок змінює якість прилипання фотополімеру та спричиняє збільшення кількості частинок. Ми використовуємо інфрачервоні лампи без озону, тож температурний режим залишається стабільним, без несподіванок.
Що є важливим у цьому процесі
Ми використовуємо інфрачервоні емітери короткої довжини хвилі з швидкою реакцією, що забезпечує стабільну потужність випромінювання протягом кількох секунд. У всій зоні випалювання однорідність температури на поверхні пластини становить ±0.1°C, а повторюваність результатів залишається стабільною.
Кварцовий корпус та матеріали, придатні для використання в чистих приміщеннях, розроблені для роботи в умовах класу 1–100. Під час роботи ламп не відбувається вивільнення газів та не створюється жодних частинок. Інтенсивність світіння налаштовується відповідно до характеристик фотополімеру, а спектральний склад випромінювання підбирається так, щоб він відповідав кривій поглинання фотополімеру – це зменшує теплові затримки та ефекти на краях деталей.
Чому це важливо для обробки фотополімеру
Процедура м’якого випалювання полягає у видаленні розчинників та стабілізації напруги в плівці. Процедура жорсткого випалювання застосовується для стабілізації зображення перед процедурою етчінгу. Завдяки інфрачервоним лампам без озону можна точно контролювати ширину ліній, уникати дефектів та зменшити кількість необхідних корекцій.
Система працює 24/7 зі стабільною продуктивністю. Використання менше енергії порівняно з конвективними методами, оскільки тепло потрапляє безпосередньо в плівку, а не в приміщення. Продуктивність зростає, без зниження якості продукту, а термін служби ламп дозволяє проводити тривалі процеси з передбачуваними періодами технічного обслуговування.
Практичні аспекти
Світіння лампи є лінійним, тож геометрія конструкції має забезпечувати суміщення променя світла з траєкторією руху пластини. Для уникнення впливу зайвого тепла на сусідні елементи конструкції використовуються відбивні елементи.
Після припинення роботи пристрою необхідний короткий час для досягнення термічної рівноваги – потрібно планувати процедуру випалювання з урахуванням цього часу. Сумісність з існуючим обладнанням є простою, але необхідно перевірити механічні параметри та з’єднання з електропроводкою разом з командою обладнання.