Не дозволяйте зламаним лампам зруйнувати ваші пластини
Коли ви проводите процедуру високонавантаженого висушування пластин, зламана лампа – це не просто проблема чи невелика перерва у роботі. Це справжній кошмар.
Якщо кварцова трубка розривається, осколки скла та залишки галогену потрапляють прямо на поверхню кремнію. Одного такого інциденту достатньо, щоб увесь продукт став непридатним для використання. Це справжня катастрофа з точки зору забруднення продукту.
Ми знайшли спосіб уникнути цього. Ми створили фізичний захист у корпусі відбивача.
Як саме працює цей захист
Відбивач виконує свою основну функцію – відбиває інфрачервоне випромінювання назад до пластини, використовуючи високоякісні алюмінієві чи золоті покриття для забезпечення ефективності. Але він також виконує ще одну, значно важливішу функцію.
Розміщуючи лампу всередині цієї відбивної камери, ми створюємо бар’єр. Якщо трубка зламується, корпус приймає на себе осколки. Замість того, щоб осколки скла пошкодили продукт, утворюється контрольований „безлад“. Це значно краще.
Боротьба з теплом
Коли лампи працюють на повну потужність, вони створюють велику кількість тепла. Ми скоригували геометрію відбивача, щоб енергія потрапляла саме туди, де їй потрібно – на поверхню пластини. Це дозволяє зменшити кількість марнованого тепла та прискорити процес висушування.
Але є один недолік: більш точні фокуси створюють більший тиск на кінці трубки. Потрібно переконатися, що вентилятори достатньо потужні, щоб відводити тепло від трубки. Інакше може статися ще один передчасний злам лампи.
Встановлення в обладнання
Ми створили ці лампи як замінники. Вам не потрібно руйнувати всю конструкцію обладнання лише для того, щоб додати захист. Відбивач кріпиться безпосередньо до каркаса, тож не займає зайвого простору. Коли трубка зламується, достатньо просто замінити лампу, швидко очистити відбивач та продовжити роботу.
Це перетворює катастрофічну ситуацію на звичайне завдання з технічного обслуговування.