На лінії виробництва навіть півградусної зміни температури під час обробки фоторезисту достатньо, щоб критичні розміри продукту вийшли за межі допустимих параметрів. Повільне висушування пластини подовжує час процесу та створює умови для забруднення поверхні. Саме тому ми використовуємо нагрівач у приміщенні типу „чиста кімната“ – це допомагає усунути нестабільність у процесі.
Як ми його спроектували
Ми розробили цей нагрівач так, щоб він відповідав тепловим вимогам процесу виробництва полупровідників. Ми підтримуємо однорідність температури на всій поверхні пластини при значенні ±0,1°C. Надійність роботи забезпечується завдяки каліброваній системі керування, яка контролює температуру з мінімальними відхиленнями. Нагрівальний елемент є короткохвильовим інфрачервоним, тож реакція на зміни температури є швидкою, а розподіл тепла – рівномірним. Корпус нагрівача призначений для використання в приміщеннях типу „чиста кімната“: герметичні з’єднання, відсутність частинок, які можуть потрапити в приміщення. Енергоспоживання зменшується, оскільки тепло надається лише тоді, коли це необхідно, а не через велику кімнату. Час роботи нагрівача становить 24/7, а обслуговування можна планувати заздалегідь.
Де він знаходить своє застосування
Цей нагрівач підходить для процедур висушування пластин, обробки фоторезисту, застигання епоксидного покриття та подальшого висушування пластин після чищення. Швидка стабілізація температури дозволяє уникнути змін температури під час процесу. Висока однорідність температури допомагає усунути дефекти на краях пластин та підвищує якість продукції. Енергоспоживання зменшується, оскільки тепло надається лише тоді, коли це необхідно. Час роботи нагрівача становить 24/7, а обслуговування можна планувати заздалегідь.
Важливі нюанси
Важливо правильно розмістити нагрівач – потік повітря має йти паралельно до пластини, а також має бути достатньо простору для циркуляції повітря в приміщенні типу „чиста кімната“. Під час встановлення необхідно переконатися у правильному розташуванні елементів конструкції та типі з’єднань – навіть незначні невідповідності можуть завадити правильній роботі нагрівача. Нагрівач працює ефективно при температурі 22±2°C та вологості 45±5%. Якщо температура виходить за ці межі, точність керування температурою знижується.