Giữ cho môi trường sản xuất sạch 100% Nếu bạn đang sấy khô các wafer cảm biến MEMS, bạn chắc hẳn đã hiểu rõ tình trạng tồi tệ này: chỉ cần một hạt bụi nhỏ dính vào wafer thôi, toàn bộ wafer đó coi như vô dụng. Điều này thật khó chịu. Vấn đề là hầu hết các bộ phận gia nhiệt thông thường đều tạo ra những hạt bụi vi mô. Những hạt bụi này được giải phóng ngay tại nơi mà chúng không nên xuất hiện. Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng những bóng đèn IR làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Những bóng đèn này không tạo ra hạt bụi, cũng không giải phóng chất kim loại gây hại, và giúp duy trì môi trường sản xuất trong trạng thái tốt nhất. Tại sao thạch anh lại quan trọng? Chúng tôi sử dụng loại thạch anh đặc biệt để đảm bảo rằng nguồn nhiệt không gây ảnh hưởng đến bề mặt wafer. Thủy tinh thông thường không thể chịu được nhiệt độ cao; nó sẽ bị nứt hoặc giải phóng các chất hữu cơ dễ bay hơi. Trong khi đó, thạch anh có thể chịu được áp lực nhiệt mà không bị hư hại. Ngoài ra, bức xạ IR có thể xuyên qua lớp chất lỏng trên bề mặt wafer và làm bay hơi chất lỏng đó. Không cần chạm vào wafer, không cần ma sát – đó là cách duy nhất để bảo vệ các cấu trúc MEMS mỏng manh này. Làm thế nào để kiểm soát nhiệt độ? Để làm khô wafer trong vài giây, bạn cần nguồn nhiệt mạnh. Chúng tôi điều chỉnh công suất và điện áp của bóng đèn để đạt được nhiệt độ phù hợp với loại wafer cần xử lý. Nhưng vấn đề là các bóng đèn có công suất cao sẽ rất nóng ở hai đầu. Nếu bạn không điều chỉnh hệ thống làm mát đúng cách, bóng đèn có thể bị hư hại. Đó là một thách thức cần được giải quyết. Làm thế nào để sử dụng bóng đèn một cách hiệu quả? Chúng tôi thiết kế các bóng đèn này sao cho có thể thay thế nhanh chóng. Thời gian ngừng hoạt động là điều không mong muốn, vì vậy chúng tôi tạo ra quy trình thay thế dễ dàng. Dù bạn sử dụng loại đầu nối R7 hay SK, chúng đều được thiết kế để ôm chặt vào bóng đèn. Điều này rất quan trọng, vì bất kỳ sự lỏng lẻo nào cũng có thể dẫn đến sự oxy hóa ở các điểm tiếp xúc. Hãy luôn kiểm tra chu kỳ hoạt động của bóng đèn. Nếu dòng điện giảm, hãy thay bóng đèn ngay. Tốt nhất là thay bóng đèn theo lịch trình đã định, thay vì phải đối mặt với tình trạng bóng đèn bị cháy hoặc rò rỉ khí trong buồng sấy.