Đạt được mức ô nhiễm bằng không trong quá trình sấy wafer MEMS nhờ việc sử dụng các bóng đèn hồng ngoại làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao
Giữ cho môi trường sản xuất sạch 100% Nếu bạn đang sấy khô các wafer cảm biến MEMS, bạn chắc hẳn đã hiểu rõ tình trạng tồi tệ này: chỉ cần một hạt...