Tại sao chúng tôi từ bỏ phương pháp sưởi ấm bằng khí nóng để chuyển sang phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại trong các nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn Hãy tưởng tượng cách hoạt động của lò nướng thông thường: chúng ta làm nóng không khí trước, và sau đó không khí đó mới làm nóng các tấm wafer. Quá trình này diễn ra rất chậm. Người ta phải chờ đợi một thời gian dài cho đến khi nhiệt độ đạt mức mong muốn. Trong các nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn, việc chờ đợi này thực sự là một trở ngại lớn, vì nó làm giảm tốc độ sản xuất. Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại, với các thiết bị được đặt bên trong những vỏ bọc bằng thép không gỉ. Loại bỏ yếu tố trung gian Ưu điểm của phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại là nó không cần không khí để truyền nhiệt. Nó sử dụng sóng điện từ để trực tiếp làm nóng bề mặt vật liệu cần xử lý. Không cần phải chờ đợi toàn bộ buồng nướng được làm nóng; quá trình diễn ra gần như tức thì. Khi lập kế hoạch cho một hệ thống, điều quan trọng nhất chính là thời gian cần thiết để hệ thống hoạt động ổn định. Một lò nướng thông thường có thể mất đến 20 phút mới ổn định nhiệt độ. Còn với hệ thống sưởi ấm bằng tia hồng ngoại, chỉ cần vài giây thôi. Khi không còn phải chờ đợi nữa, chúng ta có thể xử lý nhiều tấm wafer hơn trong mỗi ca làm việc. Về mặt thiết bị Chúng tôi sử dụng thép không gỉ chất lượng cao để chế tạo vỏ bọc cho các thiết bị này, vì áp lực nhiệt rất lớn. Nhưng vỏ bọc này không chỉ có chức năng giữ các bóng đèn ở vị trí cố định, mà còn đóng vai trò như một tấm gương. Chúng tôi đánh bóng bề mặt bên trong để các photon lạc lối có thể phản xạ ngược trở lại bề mặt vật liệu cần xử lý. Việc loại bỏ các đường ống và máy thổi khí cũng mang lại nhiều lợi ích, vì nó giúp tiết kiệm nhiều diện tích sàn. Nhưng cũng có một điểm cần lưu ý: hệ thống sưởi ấm bằng tia hồng ngoại tạo ra nhiệt độ rất cao. Nếu không có hệ thống thông gió hoặc quạt làm mát đủ mạnh, các thiết bị điều khiển có thể bị hư hỏng. Thực tế trong môi trường sản xuất Bạn không thể đơn giản lắp đặt hệ thống sưởi ấm bằng tia hồng ngoại vào dây chuyền sản xuất và hy vọng nó hoạt động tốt ngay từ ngày đầu. Cần phải điều chỉnh một số thiết lập trước. Phương pháp sưởi ấm bằng khí nóng tương đối dễ sử dụng, nhưng phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại thì khác. Nếu góc đặt của bóng đèn sai vài milimét, nó sẽ tạo ra những vùng nóng trên bề mặt wafer. Đây là công việc đòi hỏi độ chính xác cao. Chúng tôi thiết kế hệ thống sao cho có thể điều chỉnh góc đặt của bóng đèn một cách chính xác, nhằm đảm bảo nhiệt được phân bố đều trên toàn bộ bề mặt wafer.