如何保持100级洁净室的清洁状态
如果你们需要干燥MEMS传感器晶圆，那么你们肯定知道其中存在的麻烦：哪怕有一粒微小的灰尘落在晶圆上，整个晶圆就报废了。这真是令人沮丧。 问题在于，大多数普通加热元件实际上都是“尘埃制造机”——它们会释放出大量微小颗粒，而这些颗粒往往出现在我们不希望出现的地点。为了解决这个问题，我们改用了高纯度的合成石英红外灯。这种灯不会释放任何颗粒物，也不会泄漏金属杂质，从而确保生产线始终处于理想的状态。
为什么选择石英材料？
我们使用特定类型的石英材料作为灯罩，这样热量就不会影响到晶圆表面。普通玻璃则无法承受如此高的温度——它要么会破裂，要么会在受热时释放出有害的挥发性有机化合物。而石英则能轻松应对高温，而且其红外辐射可以直接穿透晶圆表面的液膜并使其蒸发。无需任何物理接触，这才是确保那些精密的MEMS结构完好无损的唯一方法。
如何调整热量输出
要想在几秒钟内让晶圆干透，就需要足够的加热功率。我们会调整灯丝的功率和电压，以适应特定的工艺要求。不过，高功率的灯管末端会变得非常热。如果不妥善处理冷却系统，灯座或石英材料就会因为过热而损坏。这需要精心调整。
如何维护这些设备
我们设计的这些灯具可以快速更换。停机时间越短越好，因此我们让更换过程尽可能简单。无论使用R7还是SK接口，只要安装得当，就能避免接触点氧化的问题。只需定期检查设备的运行状态即可。如果电流开始下降，那就该更换灯管了。提前更换总比等到灯管烧毁、导致干燥室出现真空泄漏要好得多。