在化学处理区域使用红外线加热时，如何确保安全？ 在半导体工厂中，当对晶圆进行干燥处理时，往往会接触到一些极易挥发的化学物质。这种环境极其危险——如果这些蒸汽遇到火花或过热的部件，就很可能引发爆炸。因此，我们不会直接使用普通的红外线灯泡，而是给它们加上防护外壳，从而避免事故发生。 处理蒸汽问题 大多...

切勿让损坏的灯泡毁掉你的产品：保持MEMS晶圆的清洁 在大量生产MEMS产品的过程中，哪怕有一个灯泡损坏，都可能毁掉整批产品。这种情况往往在瞬间发生：红外灯管破裂后，晶圆不仅会被水浸湿，还会被玻璃碎片和金属颗粒覆盖。这无疑是一场噩梦，整批产品都可能因此报废。 我们专门设计了高效的加热器，这样就不必...

在光刻过程中，层压加热器的作用不仅仅是提供热量，它还决定了整个光刻胶层的温度分布。如果在软烘烤过程中温度出现0.5°C的偏差，那么就会影响光刻胶的粘度以及产品尺寸的精确度。当要求基板上的温度均匀性达到±0.1°C时，这种干膜光刻胶层压加热器就不再是简单的辅助设备，而是整个工艺流程中的关键要素。 我...

回到生产线上，一片湿润的MEMS晶圆经过清洗后静置等待。下一站——光刻胶涂布、软烘和洁净干燥——对热漂移的容忍度为零。表面出现1°C的热点，线宽控制就变成随机事件。我们设计了这款MEMS晶圆干燥加热器，目的就是在进入光刻工艺之前消除这种不确定性。 设备关键指标 设计目标是在晶圆平面实现±0.1°C...