洁净室设备升级中
切勿让微小的故障毁掉整批产品 如果要对半导体制造厂的照明或加热系统进行升级,您应该很清楚其中的风险。哪怕只有微小的电泄漏,整个晶圆批次都会变成废品。
因此,我们不会采用“随机抽样”的方式来检测。我们不会只测试少数几个元件,然后寄希望于最好的结果。每一个离开我们工厂的元件,都必须经过100%的耐压测...
洁净室烤箱红外加热器
别再等待烤箱加热了:为什么红外线加热才是最佳选择
如果您从事半导体产品的深度加工工作,那么您一定知道等待带来的困扰。我们大多数人习惯于使用强制对流式加热方式——先加热空气,再让空气加热工件,然后只能坐等温度上升。这种方式效率极低,还会造成严重的热滞后现象,从而成为整个生产流程的瓶颈。
而红外线加热...
洁净室工作台红外灯
别再依赖台式加热设备了 在半导体加工中,速度至关重要。但如果你仍然使用热风循环的方式来加热工件,那无疑是在浪费时间。
想想热风的工作原理吧:你先加热空气,然后再等待空气把工件的温度提高。这其实是一种间接的加热方式。而在高压环境中,这种间接方式只会让工作效率下降。
真正的问题在于延迟时间。
这时,红...
洁净室红外加热器
在使用易挥发化学物质进行清洁时,如何确保安全呢?
说实话,让充满易燃溶剂的房间处于高温状态其实非常危险。不能简单地把普通红外灯拿过来就能解决问题。当周围充满了易燃蒸汽时,哪怕有一点点火花或表面温度过高,都可能引发灾难。
因此,我们不会随便设计这些加热器——我们会对其采取严格的防护措施。我们使用特殊...
半导体洁净室推车式加热器
在光刻胶烘烤过程中,哪怕只有半度的温度偏差,也足以导致关键尺寸不符合标准。而晶圆干燥过程的缓慢进行,则会延长处理时间,同时增加表面污染的风险。因此,我们在传送车上安装了洁净室专用加热器,以此来消除工艺过程中的各种变量。
设计思路
我们设计的这款加热器能够满足半导体生产过程中的温度控制要求。在整个晶...