
别再依赖台式加热设备了
在半导体加工中,速度至关重要。但如果你仍然使用热风循环的方式来加热工件,那无疑是在浪费时间。
想想热风的工作原理吧:你先加热空气,然后再等待空气把工件的温度提高。这其实是一种间接的加热方式。而在高压环境中,这种间接方式只会让工作效率下降。
真正的问题在于延迟时间。
这时,红外线灯就派上用场了。红外线灯利用的是辐射热,这些热量以光速传递,直接作用于工件表面。无需中间环节,也无需等待空气来加热工件。
当你在洁净室里使用红外线灯时,你买到的不仅仅是一台硬件设备,更是节省下来的时间。
想象一下,如果用热风烤箱让晶圆的表面温度达到稳定状态需要10分钟,那么红外线灯则只需几秒钟即可完成这一任务。这就是效率上的巨大差异。
**此外,红外线灯的体积远远小于那些笨重的热风装置。**你可以省去那些占去一半工作台的庞大鼓风机和隔热管道。只需将红外线灯连接到PID控制器上,将其安装在上方,就可以了。
还有一个好处:红外线灯不会让整个房间都变热。因为热量是定向的,所以不必让空调过度运转,其他敏感设备也不会因为室温过高而出现故障。
当然,也有缺点
红外线灯并非万能的。如果工件的形状复杂或有凹陷处,热量就无法均匀地照射到这些地方。为了解决这个问题,就不能只用一盏灯,而需要调整多盏灯的角度,确保每个部位都能被均匀加热。
另外,需要注意的是,红外线灯会释放出大量的热量。因此,必须确保工作台表面能够承受这种高温,不会变形或熔化。