防止碎片飞溅：保持晶圆清洁，保护干燥设备
如果你曾经历过在高峰生产期间红外灯突然爆裂的情况，那肯定是个可怕的噩梦。前一秒一切正常，下一秒，石英碎片和金属丝就会飞溅到晶圆上。 这无疑是一场灾难。你不仅会损失一片晶圆，还可能引发二次污染，从而毁掉整批产品。我们花了大量时间来研究如何防止这种故障的发生。
应对高温问题
大多数红外灯的损坏都是因为两个原因：要么是某个部位过热，要么是受到突然的热冲击。 为了解决这个问题，我们使用了高纯度的石英玻璃，其壁厚经过精心设计，以承受高功率带来的膨胀压力。不过，玻璃只是解决问题的一半而已。真正起关键作用的是数字控制器，它负责控制功率的升降。 通过避免功率的突然波动，我们可以防止玻璃因压力而破裂。 此外，我们还使用PID控制技术来确保温度不会超过设定值，从而让灯丝始终处于最佳工作状态。有一点需要提醒：如果为了达成生产目标而让灯光以110%的功率运行，那只会加速灯管的损坏。同时，还要确保冷却风量与灯管的散热需求相匹配。否则，灯管就会过热，进而出现故障。
防止碎片进入
我们的目标很简单：绝不能让任何碎片落在晶圆上。 为此，我们采用了物理屏蔽措施以及稳固的固定方式。我们的灯座能够让灯管保持居中，避免其振动。虽然这看起来像是小细节，但实际上，当玻璃与外壳摩擦时，会产生微小的裂纹，而这些裂纹最终会导致灯管爆炸。 我们还在石英玻璃表面涂上了特殊的涂层，这样就可以调整红外线的波长，使其直接作用于晶圆，而不是外壳。如果外壳过热，就可能会释放出有机污染物，这就不是什么好事了。
很麻烦但很重要的事情
电路连接必须十分牢固，没有例外。 我们使用工业级连接器，因为端子处的电弧现象很容易导致故障。松动的连接点会导致局部过热，进而烧毁灯管的末端。 请定期检查电路连接情况，虽然这只需要几分钟的时间，但这样可以确保电路稳定，减少灯管损坏的概率。