快速响应红外加热灯泡

在300mm生产线上，软烘烤时间为15秒，但温度漂移2°C，会导致光刻胶线宽偏差。曝光只有一次机会。我们开发了快速响应的红外加热灯泡，以确保热预算在规定范围内保持稳定，循环执行。 核心技术要点 我们采用石英封装的短波卤素元件，选用原因是其发射响应快且发射率稳定。响应时间低于200ms，温度控制在晶...