半导体洁净室推车式加热器

在光刻胶烘烤过程中，哪怕只有半度的温度偏差，也足以导致关键尺寸不符合标准。而晶圆干燥过程的缓慢进行，则会延长处理时间，同时增加表面污染的风险。因此，我们在传送车上安装了洁净室专用加热器，以此来消除工艺过程中的各种变量。 设计思路 我们设计的这款加热器能够满足半导体生产过程中的温度控制要求。在整个晶...