缩短半导体加工中的循环时间：无臭氧红外加热与强制空气对流技术的对比

为什么还要等待热风加热呢？半导体加工中的红外加热技术 如果你有过从事半导体深度加工的经验，那你就知道使用强制空气加热的麻烦之处。你需要先启动设备，然后等待一段时间，才能让工件达到所需的温度。这种方法效率低下且十分繁琐。 而红外灯则完全改变了这一状况。它们不会加热空气，而是直接将能量传递到被加工的基...