تقليل أوقات الدورة في معالجة أشباه الموصلات استخدام الأشعة تحت الحمراء بدون أوزون مقابل استخدام التهوية القسرية

تقليل أوقات الدورة في معالجة أشباه الموصلات استخدام الأشعة تحت الحمراء بدون أوزون مقابل استخدام التهوية القسرية

تحقيق عملية تسخين خالية من التلوث لتجفيف رقاقات MEMS، باستخدام مصابيح الأشعة تحت الحمراء المصنوعة من الكوارتز عالي النقاء

تحقيق عملية تسخين خالية من التلوث لتجفيف رقاقات MEMS، باستخدام مصابيح الأشعة تحت الحمراء المصنوعة من الكوارتز عالي النقاء