Warum Quarzschirme für Ihre Fertigungsanlagen wirklich wichtig sind
Wenn Sie Infrarotheizlampen zur Verarbeitung von Wafern verwenden, kennen Sie das Problem: Die thermischen Prozesse müssen schnell und präzise ablaufen. Um das zu erreichen, ohne dass alles durcheinanderkommt, nutzen wir Quarzglas-Schirme vor den Lampen.
Es geht dabei nicht nur darum, die Lampen sauber zu halten. Vielmehr geht es darum, wie man mit der Wärme umgeht – besonders, wenn man versucht, die Ziele im Bereich der erneuerbaren Energien zu erreichen und Energieverschwendung zu vermeiden.
Die Rolle des Materials
Wir verwenden hochreines, gefülltes Quarzglas – schließlich lässt dieses Material kurzwelliges Infrarotlicht ungehindert durchdringen. Wenn man stattdessen minderwertiges Glas verwendet, nimmt der Schirm selbst die Wärme auf. Das ist ein echtes Problem: Das Glas wird unter Spannung gesetzt, es bricht – und plötzlich hat man ein Problem. Reines Quarzglas sorgt dafür, dass die Wärme genau dorthin gelangt, wo sie benötigt wird – nämlich auf die Wafer. Da man nicht gegen seine eigene Ausrüstung kämpfen muss, muss man keine so hohe Leistung nutzen – dadurch sinken auch die Stromkosten.
Schutz der Lampen vor Schmutz
In Fertigungsanlagen herrschen schwierige Bedingungen: Überall gibt es chemische Dämpfe und Partikel. Wenn diese auf die Lampenoberfläche treffen, entstehen „heiße Stellen“. Diese Stellen können dazu führen, dass die Lampen viel schneller kaputtgehen. Durch den Einsatz von Quarzschirmen schützt man die Lampen – man muss nicht ständig neue Lampen kaufen. Dadurch entsteht weniger Müll und mehr Geld bleibt im Budget.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Quarz ist zwar großartig, aber er ist bruchempfindlich. Man muss vorsichtig sein bei der Befestigung des Schirms. Wenn man die Befestigungs Elemente zu stark anzieht, kann der Schirm bereits bei schnellen Temperaturänderungen zerbrechen. Der Schirm braucht also Raum zum Atmen und zur Ausdehnung.
Und noch etwas: Da zwischen dem Glühfaden und dem Zielobjekt nun eine Glasschicht vorhanden ist, wird die Intensität der Strahlung etwas verringert. Man könnte daher eine Lampe mit etwas höherer Leistung benötigen, um das auszugleichen. Das soll Ihnen nur helfen, falls Sie sich fragen, warum die Temperaturen nicht ganz richtig sind.