Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man einen Reinraum der Klasse 100 betreibt, kennt man sicherlich das Problem der Kontamination. Schon ein kleiner Glassplitter oder ein wenig Gas, das von einem Heizelement freigesetzt wird, kann dazu führen, dass die ganze Charge ruiniert wird.
Die meisten Standard-Infrarotlampen sind problematisch. Sie verwenden billige Klebstoffe oder Glas von minderer Qualität – dieses Glas beginnt bereits bei Erwärmung zu spröde zu werden und gibt Gerüche ab. Das ist ein großes Risiko, besonders bei der Verarbeitung von Halbleitern oder beim Verpacken von Sensoren. Deshalb nutzen wir hochreines synthetisches Quarzglas.
Warum Quarz wichtig ist
Standardglas ist nicht stabil. Unter hohem thermischem Stress können Verunreinigungen in das Material eindringen. Wir verwenden daher geschmolzenes Siliziumquarzglas – bei seiner Herstellung werden metallische Ionen entfernt. Dadurch entstehen keine ungewollten chemischen Reaktionen mit dem Substrat.
Außerdem nutzen wir Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Anstatt heiße Luft zu nutzen – was eigentlich nur dazu führt, dass Staub über die Arbeitsfläche geweht wird – gelangt die Energie direkt in die Verpackungsmaterialien. So bleibt alles sauberer.
Das Gleichgewicht finden
Um diese Lampen kompakt, aber dennoch zuverlässig zu halten, verwenden wir einen Wolframfaden, der in einer Halogengasmischung untergebracht ist. Dadurch verdampft der Faden nicht zu schnell – somit halten die Lampen länger.
Aber man muss auf die Leistung achten. Hochleistungs-Lampen erreichen die gewünschte Temperatur in Sekundenschnelle – das ist gut. Doch dadurch wird auch das Lüftungssystem stark belastet. Wenn man die Leistung erhöht, ohne einen geeigneten Wärmeableiter zu haben, kann es zu Temperaturschwankungen bei den Sensoren kommen. Das ist ein Kompromiss, den man bedenken muss.
Einsetzen der Lampen
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie einfach als Ersatz für die vorhandenen Infrarotlampen verwendet werden können. Die Enden der Lampen sind präzise bearbeitet, sodass sie fest an der Hülle sitzen. Es kommt zu keinen Leckagen, und keine Verunreinigungen können in die Heizzone gelangen.
Ein kleiner Tipp: Bei der Verkabelung sollten Sie unbedingt Ihre Controller überprüfen. Sie müssen den Anfangsimpulsstrom bewältigen können – sonst geht der Wolframfaden schon vor dem eigentlichen Betrieb kaputt.