Hören Sie auf, die Wände der Vakuumkammer zu erhitzen! Wenn man versucht, eine Wafer oder ein Substrat in einem Vakuum zu erhitzen, möchte man, dass...

Korrekte Wärmezufuhr in Vakuum-IR-Systemen Beim Herstellen von Halbleitern ist eine enorme Menge an Wärme erforderlich – doch man darf auf keinen...