Verringerung der Bearbeitungszeiten bei der Halbleiterfertigung – Ozongeräte ohne Konvektion gegenüber Luftströmungen zur Konvektion
Warum warten? IR-Heizung im Halbfertigungsprozess Wenn Sie bereits Erfahrung mit der tiefgreifenden Verarbeitung von Halbleitern haben, kennen Sie...
Ozonfreies Infrarotlichtlampe
Im Bereich der Lithografie führt eine Abweichung der Temperatur um einen halben Grad dazu, dass die kritischen Abmessungen um Nanometer verändert...