در خط 300mm، یک پخت نرم 15 ثانیهای که دمای آن به میزان 2°C تغییر میکند، بهصورت تغییر ضخامت خط در رزین ظاهر میشود. شما فقط یک بار فرصت نوردهی دارید. ما لامپ گرمکن مادون قرمز با پاسخ سریع را ساختیم تا بودجه حرارتی را در محدوده تعریف شده حفظ کند، سیکل به سیکل.
آنچه در زیر پوسته اهمیت دارد
ما از المنتهای هالوژنی کوتاهموج داخل پوششهای کوارتزی استفاده میکنیم که به دلیل واکنش سریع تابشی و پایداری تابش انتخاب شدهاند. زمان پاسخ کمتر از 200ms است و کنترل دما در سطح ویفر±0.1°C حفظ میشود. این طراحی در اتاقهای تمیز کلاس 1–100 با صفر تولید ذرات کار میکند و خروجی آن در بیش از 5,000 ساعت عملکرد با کاهش کمتر از 5% قابل تکرار است.
چرا این روش در فرآیند رزینکاری موثر است
پخت نرم، پخت سخت، پخت مجاورتی—یکنواختی دما است که یکنواختی CD و چگالی نقصها را تعیین میکند. واکنش سریع زمان تثبیت را کاهش میدهد، بنابراین بدون قربانی کردن یکنواختی، زمان توقف کاهش مییابد. نتیجه کار نرخ تولید بالاتر، محدودههای فرآیندی دقیقتر و ویفرهای ضایعات کمتر است. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد چون حرارت به صورت درخواست شده تأمین میشود، نه به صورت ذخیره شده.
نکاتی که باید مراقب آنها باشید
تلرانسهای نصب بسیار دقیق هستند. لامپ باید با هندسه منعکسکننده و فاصله هدف هماهنگ شود—در غیر این صورت نقاط داغ و انحرافات یکنواختی ایجاد میشود. پیش از تعویض، سوکت ابزار، ولتاژ و سختافزار نصب را بررسی کنید. ما از رابطهای استاندارد پشتیبانی میکنیم، اما صفحههای پخت قدیمی ممکن است به تجهیزات سفارشی نیاز داشته باشند. برنامهریزی کنید که هر 2,000 ساعت منعکسکننده را برای حفظ عملکرد در سطح مطلوب بررسی کنید.