جلوگیری از آلودگی ویفرها از طریق طراحی ایمن لامپهای مادون قرمز UHP
جلوگیری از مشکلات ناشی از آلودگی ذرات در سیستمهای گرمایشی UHP در سیستمهای نیمههادی با بار بالا، خراب شدن لامپها فقط یک مشکل کوچک نیست؛ بلکه یک...
جلوگیری از آلودگی ویفر از طریق طراحی محفظه گرمکن مادون قرمز از جنس فولاد ضدزنگ
متوقف کردن فاجعه ناشی از خرابی لامپهای مادون قرمز در کارخانههای تولید نیمههادی، خرابی لامپهای مادون قرمز صرفاً یک اختلال فنی نیست؛ بلکه یک فاجعه...
دستیابی به گرمایش بدون آلودگی برای خشک کردن ویفرهای MEMS، با استفاده از لامپهای مادون قرمز کوارتز با خلوص بالا
حفظ سالن تمیز شما در حالت کاملاً تمیز اگر در حال خشک کردن ویفرهای حسگر MEMS هستید، میدانید که چقدر این کار دشوار است: حتی یک ذره گرد و غبار روی...
گرمکن ویفر با مصرف انرژی کم
حفظ ایمنی در هنگام گرم کردن ویفرها در نزدیکی مواد شیمیایی فرار
باید صادقانه بگوییم: قرار دادن لامپهای مادون قرمز در کنار حلالهای قابل اشتعال و...
هیتر خشککن ویفر سنسور MEMS
نگذارید یک لامپ خراب، کل محصولات شما را نابود کند: نگهداری وافرهای MEMS در حالت تمیز
در سیستمهای MEMS با تولید حجم زیاد، یک خرابی کوچک میتواند همه...
سنسور مادون قرمز دقیق برای ویفرها
دیگر انرژی خود را برای گرم کردن دیوارههای دستگاه هدر ندهید!
گرم کردن ویفرهای سیلیکونی نیاز به مقدار زیادی انرژی دارد. مشکل اینجاست که اکثر...
ریفلکتور برای لامپ خشککن ویفر
دیگر اجازه ندهید لامپهای خراب، وافرهای شما را نابود کنند!
وقتی که در حال فرآیند خشکسازی وافرها با بار بالا هستید، خراب شدن لامپ صرفاً یک مشکل کوچک...
سنسور دما برای ابزار ویفر
مشکل: کنترل گرما در ابزارهای فرآوری ویفرها
بیایید درباره ابزارهای فرآوری ویفرها صحبت کنیم. البته، این ابزارها به گرما نیاز دارند؛ اما باید گرمایی...
فاصله ایمن برای گرم کردن ویفر
در فضای لیتوگرافی، آن فاصله ایمنی در اطراف ویفر، منطقهای برای استراحت نیست؛ بلکه مرزی حساس برای انجام فرآیندهاست. اگر خیلی نزدیک شوید، با مشکلاتی...
خشککن ویفر نور مادون قرمز نزدیک (NIR)
در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، فرآیند گرم کردن فوتورزیست نه تنها یک مرحله حرارتی ساده است، بلکه تأثیر زیادی بر کنترل ابعاد محصول دارد. اگر دمای فوتورزیست...
هیتر خشککن ویفر MEMS
در خط تولید یک ویفر MEMS مرطوب پس از تمیز کردن خارج شده و منتظر میماند. ایستگاه بعدی—پوشش فتورزین، پخت نرم و خشک کردن تمیز—هیچ تحملی برای انحراف...
لامپ خشککن ویفر DNS (صفحه)
در طبقه لیتوگرافی، یک تغییر دما به اندازه ۱ درجه سانتیگراد در پخت نرم یا پخت سخت یک «اشتباه کوچک» نیست. این یک ضربه به بهرهوری است، ساده و واضح....