حفظ ایمنی در هنگام گرم کردن ویفرها در نزدیکی مواد شیمیایی فرار
باید صادقانه بگوییم: قرار دادن لامپهای مادون قرمز در کنار حلالهای قابل اشتعال و بخارات منفجره، کاری بسیار خطرناک است. اگر از لامپهای معمولی در خطوط تمیزکاری شیمیایی استفاده کنید، در واقع خودتان را در معرض خطر قرار میدهید.
ما برای جلوگیری از این مشکل، از طرحهای ویژه برای محصور کردن لامپها استفاده میکنیم.
نحوه عملکرد «حباب ایمنی»
ما لامپهای خود را در قالب کوارتز با خلوص بالا یا شیشههای ویژه پوشاندهایم. این کار صرفاً برای حفظ تمیزی لامپ نیست؛ بلکه این پوشش به عنوان یک دیوار فیزیکی بین بخشهای الکتریکی لامپ و هوای اطراف آن عمل میکند.
برای اطمینان از عدم نفوذ هیچ چیزی، از درزگیرهای سرامیکی-فلزی در نقاط ورودی استفاده میکنیم؛ این کار مانع از ورود بخارات شیمیایی به داخل لامپ میشود.
دلیل اهمیت این کار این است: اگر ابری از بخارات وارد محفظه لامپ شود، پوشش محافظ، جلوی ایجاد جرقه و آتشسوزی را میگیرد. همچنین، ما دمای سطح خارجی لامپ را نیز به دقت زیر نظر داریم؛ اگر دما بیش از حد بالا برود، ممکن است مواد شیمیایی در معرض خطر قرار بگیرند.
حفظ پایداری
ما از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها مستقیماً روی سطح ویفر تأثیر میگذارند. این روش باعث میشود انرژی صرف گرم کردن هوای اطراف لامپ نشود؛ در نتیجه، مواد شیمیایی نیز خیلی سریع تبخیر نخواهند شد.
البته باید مراقب باشیم که فشار بیش از حدی وارد نشود تا درزگیرها آسیب نبینند. همچنین، از کانکتورهای مستحکم استفاده میکنیم تا سیمها در هنگام کار ماشین، شل نشوند؛ چون سیمهای شل منجر به ایجاد نقاط گرم میشوند، و در محیط شیمیایی، نقاط گرم میتوانند منجر به آتشسوزی شوند.
معایب
هیچ چیز کامل نیست؛ استفاده از این لایه محافظ بین فیلامنت لامپ و ویفر، باعث کاهش کمی در کارایی انتقال حرارت میشود. احتمالاً باید توان لامپ را افزایش دهید یا زمان ماندن ویفر در معرض گرما را بیشتر کنید تا به دمای مورد نظر برسید. فقط به یاد داشته باشید که تنظیمات PLC را به گونهای انجام دهید که دما از حد مجاز فراتر نرود.