دیگر انرژی خود را برای گرم کردن دیوارههای دستگاه هدر ندهید!
گرم کردن ویفرهای سیلیکونی نیاز به مقدار زیادی انرژی دارد. مشکل اینجاست که اکثر دستگاههای IR، این گرما را در همه جا پخش میکنند؛ در نتیجه، بخش زیادی از انرژی به جای رسیدن به ویفر، به دیوارههای داخلی دستگاه میرسد.
در واقع، بدنه دستگاه به یک منبع گرمایی عظیم تبدیل میشود؛ این امر باعث میشود که سطح بیرونی دستگاه آنقدر گرم شود که بتواند فرد را آسیب بزند؛ همچنین، سیستمهای خنککننده دستگاه مجبور میشوند بیشتر از حد کار کنند. این روش واقعاً هدردار است.
چگونه این مشکل را برطرف میکنیم؟
ما این مشکل را با تعیین مسیر دقیق انتقال گرما حل میکنیم. به جای استفاده از لامپهایی که نور را در همه جا پخش میکنند، از فرستندهها و بازتابندههایی استفاده میکنیم تا پرتوهای IR را مستقیماً به سمت ویفر هدایت کنیم.
میتوانید آن را مانند تغییر از لامپهای معمولی به فلاشلایت در نظر بگیرید؛ با کاهش زاویه انتشار نور، انرژی در مسیر صحیح باقی میماند. گرما به جایی میرود که لازم است، و دیگر به دیوارههای داخلی دستگاه نمیرسد.
مزایای این روش برای کارکنان
وقتی که دیوارهها تمام انرژی اضافی را جذب نمیکنند، شرایط برای کارکنان بسیار ایمنتر میشود؛ دیگر نیازی نیست نگران نقاط گرم در سطح بیرونی دستگاه باشید.
ما فقط از عایقهایی برای پنهان کردن مشکل استفاده نمیکنیم؛ بلکه مطمئن میشویم که گرما اصلاً به دیوارهها نرسد.
معایب این روش
البته، یک مشکل وجود دارد؛ چون گرما بسیار متمرکز است، میزان گرمای وارد روی ویفر نیز بسیار بالاست.
شما خواهید دید که زمان لازم برای گرم شدن ویفر کاهش مییابد؛ اما این امر فشار بیشتری بر کنترلکنندههای دما وارد میکند. اگر تنظیمات PID دستگاه مناسب نباشد، ممکن است دمای ویفر از حد مطلوب بالاتر رود. همچنین، باید مطمئن شوید که سنسورهای IR برای طول موج خاص لامپ تنظیم شدهاند؛ در غیر این صورت، ارزیابیهای شما نادرست خواهد بود.
خبر خوب این است که این سنسورها قابل جایگزینی با سنسورهای قدیمی هستند؛ کافی است آنها را به منبع تغذیه موجود دستگاه وصل کنید. تفاوت را بلافاصله خواهید دید: ویفر سریعتر گرم میشود، و دیوارههای داخلی دستگاه نیز سرد باقی میمانند.