در فرآیند لیتوگرافی، حتی تغییر نیم درجهای در دمای پخت، میتواند باعث تغییر ابعاد مهم قطعات شود؛ این تغییرات در مقیاس نانومتری است. این موضوع صرفاً مربوط به گرما نیست؛ بلکه مربوط به کنترل دقیق دماست.
چراغهای استاندارد میتوانند ازن تولید کنند؛ این ازن باعث تغییر در ویژگیهای فوتورزیست میشود و همچنین تعداد ذرات موجود در محیط را نیز تحت تأثیر قرار میدهد. ما از چراغهای مادون قرمز بدون ازن استفاده میکنیم؛ در نتیجه، دمای محیط در سطح تنظیم شده باقی میماند و هیچ مشکلی پیش نمیآید.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما از منابع مادون قرمز با طول موج کوتاه و پاسخ سریع استفاده میکنیم؛ این منابع میتوانند خروجی ثابتی را در عرض چند ثانیه فراهم کنند. در کل منطقه پخت، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین تکرارپذیری عملیات نیز یکنواخت باقی میماند.
غلافهای کوارتزی و مواد مورد استفاده در این دستگاهها، برای محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ ساخته شدهاند؛ بنابراین هیچ گازی از دستگاه خارج نمیشود و هیچ ذرهای نیز وجود ندارد. تراکم انرژی نیز بر اساس ویژگیهای فوتورزیست تنظیم میشود؛ همچنین ترکیب طیفی خروجی نیز با منحنی جذب فوتورزیستهای معمولی همخوانی دارد؛ در نتیجه، تأخیر حرارتی کمتر شده و اثرات ناشی از لبهها نیز کاهش مییابد.
چرا این روش در فرآیند فوتورزیست مفید است؟ فرآیند پخت نرم، به منظور خارج کردن حلالها و تنظیم تنش فیلم انجام میشود؛ فرآیند پخت سخت نیز برای تثبیت تصویر قبل از فرآیند حکاکی استفاده میشود. با استفاده از چراغهای مادون قرمز بدون ازن، میتوانیم کنترل عرض خطوط را به خوبی انجام دهیم؛ همچنین میتوانیم نقصهای ناشی از رسوبات را کاهش دهیم و نیاز به تعمیرات را کم کنیم.
این دستگاه به طور مداوم و با خروجی ثابت کار میکند؛ همچنین مصرف انرژی آن کمتر از روشهای سنتی است، زیرا گرما مستقیماً به فیلم منتقل میشود، نه به محفظه. با این روش، بهرهوری افزایش مییابد و عمر لامپ نیز طولانیتر میشود.
جزئیات عملیاتی: خروجی لامپ در یک خط مستقیم است؛ بنابراین، هندسه یکپارچهسازی دستگاه باید به گونهای باشد که پرتو نور در مسیر صحیح قرار گیرد. از لوازم بازتابنده برای جلوگیری از انتقال گرما به اجزای مجاور استفاده کنید.
پس از توقف دستگاه، نیاز به زمان کوتاهی برای رسیدن به تعادل حرارتی وجود دارد؛ بنابراین، باید الگوهای پخت خود را بر اساس این زمان تنظیم کنید. سازگاری این دستگاه با سیستمهای موجود نیز آسان است؛ اما باید فاصلههای مکانیکی و اتصالات انرژی را با تیم تجهیزات بررسی کنید.