در کف کارگاه، انحراف حرارتی در پردازش حرارتی سریع، بودجه حرارتی را از بین میبرد و پروفایلهای فوتورزست شروع به فروپاشی میکنند. یکنواختی در سطح وافر تنها یک معیار علمی نیست—این خط فاصل بین یک تولید سودآور و یک سطل ضایعات است.
آنچه واقعاً در زیر سطح اهمیت دارد
ما لامپهای هالوژن را برای RTP با خروجی موج کوتاه و پوششهای کوارتز مشخص میکنیم زیرا آنها وافر را به سرعت و به طور قابل تکرار گرم میکنند. شما میتوانید یکنواختی در سطح وافر را در ±0.1°C حفظ کنید و دما حتی زمانی که خط به صورت ۲۴ ساعته و ۷ روز هفته در حال کار است، پایدار میماند. هندسه رشته و مسیر بازتابنده به گونهای تنظیم شده است که پروفایل حرارتی از بچهای به بچهای دیگر ثابت بماند. اینگونه است که پخت نرم و پخت سخت طبق دستورالعمل پیش میروند و نه اینکه به دنبال انحراف ابزار باشند.
چرا در تولید پایدار است
در اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰، تولید ذرات قاتل خاموش بازده است. این لامپها بدون تولید ذرات کار میکنند، بنابراین شما به لیتوگرافی و لایههای پایینتر آلودگی وارد نمیکنید. پخت فوتورزست قابل پیشبینی میشود که باعث کاهش کار دوباره و تنگ شدن زمان چرخه میشود. مصرف انرژی بدون کاهش نرخهای افزایش، کاهش مییابد، بنابراین هزینه هر وافر کاهش مییابد در حالی که محفظه پایدار باقی میماند. نتیجه این است که تعداد کمتری انحراف، کنترل CD محکمتر و زمان کارکردی که واقعاً میتوانید روی آن حساب کنید، خواهید داشت.
آنچه باید درست انجام شود
نصب به تنظیم دقیق لامپ و کالیبراسیون نسبت به تابش و جرم حرارتی محفظه بستگی دارد. هماهنگ کردن پایه، کانکتور و ولتاژ با ابزار RTP میزبان الزامی است—عدم تطابقها نقاط داغ ایجاد کرده و رشتهها را زود میسوزانند. برنامهریزی نگهداری پیشگیرانه را بر اساس ساعات واقعی لامپها و نه تقویم تنظیم کنید. با لامپ مانند یک مؤلفه کالیبره شده رفتار کنید و تکرارپذیری فرآیند دنبال خواهد شد.