دیگر نیازی نیست دیوارههای محفظه خلأ را گرم کنید!
وقتی سعی میکنید یک ویفر یا سطح کاری را در داخل محفظه خلأ گرم کنید، میخواهید که انرژی فقط به آن قسمت برسد. اما مشکل اینجاست که اکثر سیستمها دچار مشکل «جذب گرما توسط دیوارههای محفظه» میشوند. در عوض اینکه انرژی به هدف برسد، تابش مادون قرمز در اطراف پراکنده شده و وارد دیوارههای محفظه میشود. این کار نه تنها باعث هدررفت انرژی میشود، بلکه باعث میشود سطح بیرونی تجهیزات به طور خطرناکی گرم شود. هیچ کس دوست ندارد که دستگاهی وجود داشته باشد که با لمس کردن آن، بدن فرد آسیب ببیند.
به همین دلیل از فناوری تابش مادون قرمز جهتدار استفاده میکنیم.
نحوه کارکرد آن
فکر کنید به یک لامپ مادون قرمز معمولی؛ این لامپ گرما را در تمام جهات پراکنده میکند. در محفظه خلأ، هوایی برای حرکت دادن گرما وجود ندارد؛ بنابراین همه چیز به تابش بستگی دارد. اگر از لامپ ساده استفاده کنید، دیوارههای محفظه مانند یک اسفنج عمل کرده و تمام انرژی اضافی را جذب میکنند.
ما این مشکل را با استفاده از بازتابندهها و تنظیم طول موج، برطرف میکنیم. این کار باعث میشود گرما فقط به هدف برسد و دیوارههای محفظه سرد بمانند. خیلی ساده است!
جنبههای فنی
ما معمولاً از لولههای کوارتز با چگالی انرژی بالا استفاده میکنیم. این لولهها عالی هستند، زیرا گرما را به سرعت ایجاد میکنند. علاوه بر این، با استفاده از تابش مادون قرمز با طول موج کوتاه، انرژی مستقیماً به سطح کاری میرسد، بدون اینکه به محیط اطراف آسیبی وارد شود.
اما باید مراقب چگالی انرژی باشید. البته، لامپهایی با چگالی انرژی بالا میتوانند دمای لازم را به سرعت ایجاد کنند، اما این کار فشار زیادی روی منبع تغذیه وارد میکند. اگر چگالی انرژی را بیش از حد بالا ببرید و زاویه بازتابندهها را به درستی تنظیم نکنید، مشکلاتی مانند سوختن فیلامنتها یا ایجاد نقاط گرم در سطح کاری خواهد داشت.
بهترین توصیه ما این است که طول لامپ را دقیقاً متناسب با ناحیه هدف تنظیم کنید؛ این کار مانع از نشت انرژی از لبهها میشود.
حفظ ایمنی
بهترین ویژگی از حرارتدهی جهتدار، ایجاد احساس امنیت است. دیگر نیازی نیست نگران سوختن اپراتور توسط بدنه بیرونی دستگاه باشید، زیرا گرما در یک پرتو متمرکز باقی میماند. این کار به شما اجازه میدهد که از لایههای عایق بیرونی یا لولههای خنککننده گرانقیمت استفاده نکنید. کافی است دستگاه را به صورت مناسب وصل کنید و بازتابندهها را تنظیم کنید؛ در این صورت گرما دقیقاً به جایی که باید میرسد.