دیگر نیازی نیست دیواره‌های محفظه خلأ را گرم کنید! وقتی سعی می‌کنید یک ویفر یا سطح کاری را در داخل محفظه خلأ گرم کنید، می‌خواهید که انرژی فقط به آن...

کنترل دقیق دما در سیستم‌های مادون قرمز خلایی هنگام تولید نیمه‌هادی‌ها، به مقدار زیادی گرما نیاز است؛ اما نمی‌توانیم اجازه دهیم که آلودگی‌هایی به وجود...