در فرآیند پختن فوتورزیست، حتی انحراف نیم درجهای در دما نیز میتواند باعث خروج ابعاد مهم محصول از محدوده استانداردها شود. همچنین، سرعت کند خشک شدن ویفر، زمان فرآیند را طولانی میکند و احتمال آلودگی سطحی را افزایش میدهد. به همین دلیل، ما از هیترهای مناسب برای اتاقهای تمیز در این دستگاه استفاده کردهایم تا تغییرات ناخواسته در فرآیند کاهش یابد.
معیارهای طراحی این دستگاه
ما این هیتر را به گونهای طراحی کردهایم که در چارچوب محدودیتهای حرارتی نیمههادیها عمل کند. در سراسر سطح ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، قابلیت تکرارپذیری این دستگاه نیز به لطف حلقه کنترل دقیق، تضمین میشود. عنصر گرمایشی این دستگاه از نوع مادون قرمز کوتاهموج است؛ بنابراین پاسخگویی سریعی دارد و توزیع انرژی نیز یکنواخت است. بدنه این دستگاه نیز برای استفاده در اتاقهای تمیز مناسب است؛ یعنی درزهای بستهبندی شده دارد و هیچ ذرهای از آن خارج نمیشود. میزان مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا گرما در صورت نیاز تأمین میشود، نه از یک محفظه بزرگ. زمان کارکرد این دستگاه نیز بسیار بالاست؛ این دستگاهها میتوانند ۲۴/۷ کار کنند، و نیازی به تعمیرات مداوم نیست.
موارد مهم در استفاده از این دستگاه
محل قرارگیری این دستگاه مهم است؛ جریان هوا باید در راستای سطح ویفر باشد و فاصله کافی برای گردش هوا در اتاق تمیز وجود داشته باشد، تا ایجاد تلاطم در جریان هوا رخ ندهد. هنگام نصب، باید فاصله بین ریلهای دستگاه و نوع کانکتورها را بررسی کرد؛ زیرا حتی اختلافات کوچک نیز میتواند مانع تغییر فرآیند شود. این دستگاه در دمای ۲۲±۲ درجه سانتیگراد و رطوبت ۴۵±۵٪، در محدوده استانداردها کار میکند؛ اما خارج شدن از این محدوده، باعث کاهش دقت کنترل حرارتی میشود.