حفظ سالن تمیز شما در حالت کاملاً تمیز اگر در حال خشک کردن ویفرهای حسگر MEMS هستید، میدانید که چقدر این کار دشوار است: حتی یک ذره گرد و غبار روی ویفر، باعث میشود کل ویفر بیفایده شود. این موضوع واقعاً آزاردهنده است. مشکل اینجاست که اکثر عناصر گرمایشی معمولی، در واقع منبع تولید ذرات ریز هستند؛ آنها گازهایی را آزاد میکنند که در جایی که نمیخواهیم وجود داشته باشند، تولید میشوند. ما این مشکل را با استفاده از لامپهای IR ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا، حل کردیم. این لامپها هیچ ذرهای را آزاد نمیکنند و مانع از نشت مواد فلزی نیز میشوند؛ همچنین، این لامپها باعث میشوند که خط تولید شما در دقیقاً همان جایی که باید باشد، باقی بماند. چرا کوارتز مهم است؟ ما از نوع خاصی از کوارتز برای ساخت این لامپها استفاده میکنیم تا منبع گرما، سطح ویفر را تحت تأثیر قرار ندهد. شیشه معمولی نمیتواند گرما را تحمل کند؛ زیرا در حین گرم شدن، ترک میخورد یا مواد 유기ی مضری را آزاد میکند. اما کوارتز میتواند گرما را بدون ترک خوردن تحمل کند. علاوه بر این، تابش IR مستقیماً از میان لایه مایع روی ویفر عبور کرده و آن را تبخیر میکند. هیچ تماس فیزیکی لازم نیست؛ این تنها راه برای حفظ ساختارهای حساس MEMS است. تنظیم صحیح دما برای خشک کردن ویفر در عرض چند ثانیه، نیاز به میزان گرمای مناسبی وجود دارد. ما توان و ولتاژ لامپها را تنظیم میکنیم تا دمای مناسبی برای ویفر ایجاد شود. اما مشکل اینجاست که لامپهایی با توان بالا، در انتهای خود بسیار داغ میشوند؛ اگر سیستم خنککننده را به درستی تنظیم نکنید، ممکن است لامپ یا کوارتز آسیب ببیند. این یک مسئله تعادلبخشی است. نگهداری از لامپها ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به سرعت تعویض کرد. توقف فعالیت لامپها میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند؛ بنابراین ما این فرآیند را آسان کردهایم. چه از کانکتورهای R7 و چه SK استفاده کنید، این لامپها به خوبی در جای خود قرار میگیرند؛ این موضوع مهم است، زیرا هرگونه تغییر در محل اتصال، میتواند باعث اکسیداسیون شود. فقط مراقب دوره کاری لامپها باشید؛ اگر لامپها را با توان ۱۰۰٪ استفاده کنید، فیلامنت آنها با گذشت زمان نازک میشود. من معمولاً به افراد توصیه میکنم که میزان جریان الکتریکی را زیر نظر داشته باشند؛ وقتی که میزان جریان کاهش یافت، لامپ را تعویض کنید. بهتر است این کار را در زمان مناسب انجام دهید، تا با مشکلات ناشی از خراب شدن لامپ و نشت هوا در محفظه خشککن مواجه نشوید.