Protéger les composants lors du chauffage des wafers près de produits chimiques volatils
Soyez honnêtes : placer des lampes infrarouges juste à côté de solvants inflammables et de vapeurs explosives est une situation très risquée. Si vous utilisez une lampe à élément ouvert dans une ligne de nettoyage chimique, c’est en fait comme inviter un désastre.
Nous résolvons ce problème en abandonnant les designs à élément ouvert et en optant pour des enveloppes spécialisées.
Comment fonctionne la “bulle de sécurité” ?
Nous enveloppons nos lampes dans du quartz de haute pureté ou du verre spécialisé. Il ne s’agit pas seulement de maintenir les composants propres. Cette enveloppe agit comme un mur physique entre les parties électriques et l’air qui les entoure.
Pour éviter que quoi que ce soit ne pénètre à l’intérieur, nous utilisons des joints céramique-métal aux points de connexion. Cela empêche les vapeurs chimiques de pénétrer dans l’enveloppe de la lampe.
C’est important : si une nuée de vapeurs pénètre dans la chambre, l’enveloppe de la lampe empêche l’électrode de provoquer un incendie. Nous surveillons également de très près la température de la surface extérieure. Si l’enveloppe devient trop chaude, cela pourrait déclencher l’inflammation des produits chimiques utilisés pour le nettoyage. Personne ne veut ça.
Maintenir la stabilité
Nous utilisons des lampes infrarouges à ondes courtes, car elles atteignent directement la surface du wafer. Elles ne gaspillent pas d’énergie à chauffer l’air autour d’elles. Ainsi, les produits chimiques présents dans le bain de nettoyage ne vont pas s’évaporer trop rapidement.
C’est rapide. Vraiment rapide. Mais il faut faire attention à ne pas trop solliciter les joints de l’enveloppe.
Nous ne négligeons pas non plus les petits détails. Nous utilisons des connecteurs renforcés afin que les fils ne se détachent pas lorsque la machine fonctionne. Un fil détaché peut créer des points chauds, et dans un environnement chimique, un point chaud est un incendie en puissance.
Les compromis
Rien n’est parfait. En ajoutant cette couche de protection entre le filament et le wafer, on perd un peu en efficacité de transfert de chaleur par rapport à une lampe sans enveloppe.
Il faudra probablement augmenter la puissance de la lampe ou prolonger le temps de chauffe du wafer pour atteindre la température souhaitée. N’oubliez pas de ajuster les paramètres du PLC afin de ne pas dépasser la température cible.