Arrêtez de chauffer les parois de la chambre sous vide
Lorsque vous essayez de chauffer une wafer ou un substrat à l’intérieur d’une chambre sous vide, vous souhaitez que l’énergie soit dirigée vers la pièce à chauffer. Mais voilà le problème : la plupart des systèmes souffrent du phénomène d’« absorption thermique ». Au lieu d’atteindre la cible, les rayons infrarouges se dispersent et se logent dans les parois de la chambre. Ce n’est pas seulement une perte d’énergie, mais cela rend également l’extérieur de l’équipement extrêmement chaud. Personne ne veut d’une machine qui peut blesser quelqu’un rien qu’en touchant son boîtier.
C’est pourquoi nous utilisons une technologie infrarouge directionnelle.
Comment ça marche en réalité ?
Pensez à une lampe IR ordinaire : elle émet de la chaleur dans toutes les directions, à 360 degrés. Dans un environnement sous vide, il n’y a pas d’air pour faire circuler cette chaleur par convection. Tout repose donc sur la radiation. Si vous utilisez une lampe ordinaire, les parois de la chambre agissent comme un énorme absorbant pour toute cette énergie dispersée.
Nous résolvons ce problème en utilisant des réflecteurs et en ajustant la longueur d’onde afin de diriger le faisceau. Cela permet de limiter la diffusion de la chaleur. Résultat : l’énergie atteint directement la pièce à chauffer, tandis que les parois restent froides. Simple, non ?
Le côté technique
Nous utilisons généralement des tubes en quartz à haute densité en watts. Ils sont idéaux car ils permettent d’augmenter rapidement la température. De plus, grâce aux rayons infrarouges à courte longueur d’onde, l’énergie atteint directement le substrat, sans affecter l’atmosphère environnante.
Mais il faut être prudent avec la densité de puissance. Bien sûr, une lampe à haute puissance permet d’atteindre rapidement la température souhaitée, mais elle exerce une grande pression sur l’alimentation électrique. Si vous augmentez trop la puissance sans bien ajuster l’angle des réflecteurs, vous risquez de rencontrer des problèmes, comme des filaments brûlés ou des zones trop chaudes sur la pièce à travailler.
Notre meilleur conseil ? Adapter exactement la longueur de la lampe à la zone à chauffer. Ainsi, l’énergie ne s’échappe pas vers les bords.
Sécurité
Le plus grand avantage de la chauffage directionnel, c’est la tranquillité d’esprit. Vous n’avez pas à craindre que l’opérateur soit brûlé par le boîtier extérieur, car la chaleur reste confinée dans un faisceau bien ciblé.
Cela signifie que vous pouvez éliminer ces couches d’isolation encombrantes ou ces systèmes de refroidissement par eau coûteux qui entourent toute la chambre. Il suffit de connecter l’équipement, d’ajuster les réflecteurs, et la chaleur ira exactement là où elle doit aller.