Protéger les équipements avec des chauffages infrarouges dans les zones chimiques
Lorsque l’on sèche des wafers dans une usine de semi-conducteurs, on manipule généralement des produits chimiques très volatils. C’est une situation dangereuse. Si ces vapeurs rencontrent une étincelle ou un composant qui fonctionne à trop haute température, cela peut provoquer une explosion. C’est pourquoi nous ne nous contentons pas de fabriquer des lampes infrarouges : nous les enveloppons dans une coque protectrice afin d’éviter tout risque d’explosion.
Gérer les vapeurs
La plupart des lampes infrarouges laissent les électrodes et les câbles exposés. Dans une usine chimique, c’est un véritable cauchemar. Nous utilisons plutôt une coque externe robuste, ainsi qu’un système de scellement spécifique entre le quartz et le métal. On peut voir cela comme une sorte de “armure” qui crée une barrière physique entre les parties haute tension et les vapeurs présentes dans l’air. Même en cas de fuite de produits chimiques ou deaccumulation de vapeurs, celles-ci ne peuvent pas atteindre les parties actives de la lampe. Elles restent donc à l’extérieur, là où elles doivent être.
Gérer la chaleur
La sécurité ne concerne pas seulement l’évitement des étincelles ; elle concerne aussi la température de surface. Personne ne veut que la coque de la lampe devienne suffisamment chaude pour enflammer accidentellement les produits chimiques utilisés. Pour y remédier, nous utilisons des réflecteurs de haute qualité. Ils dirigent la chaleur vers le wafer, ce qui permet de maintenir l’arrière de l’appareil à une température supportable au toucher. Ainsi, il n’y a plus de risque de formation de points chauds sur le cadre de la machine.
Mais il y a un problème : il faut que le flux d’air soit parfaitement contrôlé. Si les ventilateurs s’arrêtent, la chaleur s’accumulera à l’intérieur de la chambre, et finira par dépasser les capacités de protection de la coque. Il est donc essentiel de faire en sorte que ces ventilateurs continuent de fonctionner.
En pratique
Nous avons conçu ces lampes pour ceux qui doivent les entretenir. On ne veut pas que les techniciens passent la moitié de leur temps à gérer des câblages complexes dans une zone dangereuse. Nos connecteurs sont prêts à l’emploi. De plus, ils résistent aux produits chimiques, donc ils ne se fissureront ni ne se détérioreront même en contact avec des produits nettoyants corrosifs. C’est beaucoup plus simple.
Il y a toutefois un inconvénient : en raison de toutes ces protections, ces lampes sont un peu plus volumineuses qu’une simple ampoule. Elles prennent plus d’espace. Assurez-vous donc de vérifier correctement les espacements nécessaires avant de commencer à brancher tout le matériel.