Arrêter l’horreur des lampes qui explosent lors du traitement des wafers
Si vous avez déjà travaillé dans une usine de production de semi-conducteurs à fort volume de production, vous connaissez bien cette sensation : ce bruit soudain d’une lampe qui explose. Ce n’est pas seulement une pièce endommagée ; c’est un véritable désastre. Lorsqu’un tube en quartz éclate, des morceaux de verre et des filaments en tungstène tombent directement sur les wafers. Votre lot est perdu. Il vous faut alors passer des heures – voire des jours – à nettoyer la chambre de production pour pouvoir reprendre le travail. C’est un problème qui dérange tout le monde.
C’est pour cette raison que nous avons conçu des lampes à double tube recouvertes d’or. Nous voulions éliminer définitivement ce problème de « pollution secondaire ».
Le secret réside dans la structure interne de la lampe
Nous avons placé l’élément chauffant à l’intérieur d’un second enveloppement en quartz. On peut y voir une sorte de filet de sécurité. Si le tube intérieur est endommagé à cause d’un pic de tension ou d’un choc thermique, le tube extérieur capture tous les débris. Ainsi, le désordre reste à l’intérieur de la lampe, tandis que vos wafers restent propres. Vous pouvez continuer à faire fonctionner la ligne de production ou l’arrêter selon vos besoins, sans avoir à gérer une situation chaotique liée au nettoyage.
Pourquoi de l’or ?
Les lampes en quartz standard perdent beaucoup d’énergie, qui disparaît simplement dans l’air. Pour résoudre ce problème, nous avons ajouté un fin revêtement en or à l’extérieur de la lampe. Ce revêtement agit comme un miroir, renvoyant les rayons infrarouges vers la surface des wafers. Cela permet d’obtenir une densité thermique beaucoup plus élevée sur la surface des wafers, sans avoir à augmenter la puissance de la lampe. C’est donc plus efficace.
Mais attention : l’or est fragile. Il ne faut pas utiliser de produits chimiques aggressifs pour nettoyer ces lampes. Sinon, le revêtement en or sera endommagé, ce qui affectera la performance de la lampe. Il faut donc les traiter avec précaution.
Faire en sorte qu’elles fonctionnent dans la réalité
Ces lampes sont conçues pour produire une forte puissance et des ondes de courte longueur d’onde. Lorsqu’on les connecte à un système à fort volume de production, la température augmente considérablement. Il est donc important de vérifier soigneusement les systèmes de refroidissement. Si le flux d’air diminue, le revêtement en or peut provoquer un surchauffage du tube en quartz, ce qui réduit la durée de vie de la lampe.
Pour compenser les contraintes liées au chauffage et au refroidissement rapides, nous avons ajouté des capuchons renforcés afin que les joints ne se détériorent pas. Ils peuvent être utilisés en remplacement des systèmes de chauffage standards, sans avoir besoin de reconstruire toute l’installation.