פתרון בעיית “הקיר החם” בשלבי השטיפה של שבבים
אם אתם עובדים בתהליכי עיבוד שבבים, אתם מכירים את הבעיות הכרוכות בכך. יש צורך לחמם את הוואפר במהלך שלב השטיפה, אך אי אפשר לאפשר למכשיר להפוך למעין תנור.
החיממים המסורתיים הם בעצם נורות – הם פולטים חום לכל כיוון. כתוצאה מכך, הקירות הפנימיים של המכשיר נהיים חמים מאוד. זו בזבוז אנרגיה, ובנוסף, זו בעיה בטיחותית עבור כל מי שעובד ליד המכשיר.
מצאנו פתרון טוב יותר: נורות אינפרא-אדום.
איך זה עובד בפועל
רוב נורות האינפרא-אדום פולטות קרינה בכל 360 מעלות. אנחנו לא רוצים את זה. במקום זאת, אנו משתמשים בגופי פליטה בעלי גלים קצרים, בשילוב עם מחזירי אור מיוחדים.
גלי אינפרא-אדום קצרים מצוינים, מכיוון שהם חודרים דרך נוזל השטיפה ופוגעים ישירות במשטח הוואפר. על ידי הגבלת כיוון הקרינה, אנו מעבירים את האנרגיה התרמית בדיוק למקום הנכון. כך ניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה על הוואפר, בעוד שהמכשיר עצמו נשאר קר למגע.
טיפול בבעיות הקשורות לנוזלים
שלבי השטיפה הם, בהגדרתם, שלבים לחים. מים וחשמל אינם חברים טובים.
כדי למנוע קצרים חשמליים, אנו משתמשים בחוסמים עמידים בפני מים על החיבורים החשמליים. בלעדיהם, הלחות והרטיבות עלולות לפגוע בחיבורים, וזה עלול לגרום לתקלות. אנו גם מכסים הכל במעטפות קוורץ – הן עמידות, ויכולות לעמוד בפני אדי הכימיקלים והנוזלים.
האתגרים
זה לא כל כך פשוט. מכיוון שאנו מרכזים את כל החום בנקודה אחת, הדיוק הוא קריטי.
אם הנורה רחוקה רק כמה מילימטרים מהנקודה הנכונה, ייווצרו נקודות חמות על הוואפר. זו בעיה.
ועוד דבר: בעוד שהקירות נשארים קרים, הנורה עצמה נהיית חמה מאוד. אי אפשר להתעלם מהמעטפת של הנורה. אם מאווררי הקירור או מערכות הקירור אינם יעילים, הנורה עלולה להישרף מוקדם מדי.
הפתרון הטוב ביותר הוא לחבר את הנורות לבקר PID. זה מאפשר שליטה מדויקת בטמפרטורה. הוואפרים נשארים בטמפרטורה קבועה, המכשיר נשאר קר, והעובדים יכולים לעבוד בביטחון.