מחמם שבבים חסכוני באנרגיה
שמירה על בטיחות החומרים בזמן חימום הוופרים ליד חומרים כימיים רגישים בואו נהיה כנים: שימוש בנורות אינפרא-אדום ממש ליד חומרים דליקים ואדי חומרים נפיצים...
מחמם לייבוש שבבי חיישני MEMS
אל תאפשרו לנורה שבורה להרוס את המוצרים שלכם: שמירה על ניקיון גלילי ה-MEMS
במערכות MEMS בעלות קיבולת גבוהה, כשורה אחת נשברת, זה יכול להרוס הכל. זה...
חיישן אינפרא אדום בעל דיוק גבוה לשבבים
הפסיקו לבזבז אנרגיה על קירות המכשיר חימום של שבבי סיליקון דורש כמות אדירה של אנרגיה. הבעיה היא שרוב המערכות הסטנדרטיות לפליטת אור אינפרא-אדום מפיצות...
מחזיר אור למנורת איטום הוופרים
תפסיקו לאפשר לנורות שנשרפו להרוס את הוופרים שלכם כאשר מבצעים תהליך ייבוש של ופרים בעומס גבוה, נפילתה של נורה אינה רק בעיה של כאב ראש או עצירה זמנית...
חיישן טמפרטורה לכלי עבודה עם שבבים
הבעיה: שליטה בחום בכלים לעיבוד וופרים
בואו נדבר על כלים לעיבוד וופרים. ברור שהם זקוקים לחום, אך מדובר בחום מדויק ונשלט.
שיטות העבר? הן לא יעילות – הן...
מרחק בטיחות לחימום הוופר
בחדר הליתוגרפיה, המרחק הבטוח שנדרש סביב הוואפר אינו מהווה “אזור נוח”. זו בעצם גבולות ברורים שיש לשמור עליהם. אם נתקרב יותר מדי, עלולים להתרחש בעיות...
מייבש שבבים באור אינפרה אדום קרוב (NIR)
בקו הייצור של 300 ממ, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו רק שלב תרמי נוסף – זו בעצם הבטחה לשליטה בממדים. אם תהליך החימום יסט אפילו במעט מהטווח של...