מנורת אינפרא אדום ללא אוזון

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום עלול לגרום לשינוי בממדים הקריטיים של החומר ברמה של ננומטרים. זה לא קשור רק לחום – זו שליטה,...