מערבל חימום לייבוש וויפר MEMS

Back on the line, לוחית MEMS רטובה יוצאת מתהליך הניקוי וממתינה. התחנה הבאה — ציפוי פוטורזיסט, אפייה רכה וייבוש נקי — אינה סובלנית לשינויי טמפרטורה....