Mantenere la sicurezza quando si riscaldano le wafer vicino a sostanze chimiche volatili
Siamo onesti: mettere delle lampade a infrarossi proprio accanto a solventi infiammabili e vapori esplosivi è una situazione molto pericolosa. Se si utilizzano lampade tradizionali in un impianto di pulizia chimica, si rischia davvero un disastro.
Per evitare questo problema, utilizziamo lampade con rivestimenti speciali che le proteggono da eventuali pericoli.
Come funziona il “rivestimento di sicurezza”
Le nostre lampade vengono avvolte in quarzo ad alta purezza o in vetro speciale. Non si tratta soltanto di mantenere tutto pulito: questo rivestimento funge anche da barriera fisica tra i componenti elettrici e l’aria circostante.
Per assicurarci che nulla possa penetrare all’interno della lampada, utilizziamo sigilli in ceramica-metallo nei punti di connessione. Questo impedisce ai vapori chimici di entrare all’interno della lampada.
È importante ricordare che, se dei vapori entrassero nella camera di riscaldamento, il rivestimento protettivo impedirebbe che si creasse una scintilla che potrebbe causare un incendio. Inoltre, teniamo sotto controllo attentamente la temperatura della superficie esterna della lampada: se diventa troppo alta, potrebbe raggiungere il punto di accensione automatica dei solventi utilizzati, e nessuno vuole questo.
Mantenere stabilità e efficienza
Utilizziamo radiazioni a onde corte, poiché queste colpiscono direttamente la superficie della wafer. In questo modo non viene sprecata energia per riscaldare l’aria circostante; di conseguenza, i solventi presenti nell’ambiente di riscaldamento non si vaporizzano troppo velocemente.
È veloce… davvero veloce. Ma bisogna fare attenzione a non esagerare, altrimenti i sigilli potrebbero danneggiarsi.
Non trascuriamo nemmeno i dettagli: utilizziamo connettori rinforzati affinché i cavi non si allentino durante il funzionamento della macchina. Un cavo allentato può creare dei punti caldi, e in un ambiente chimico, un punto caldo rappresenta semplicemente un pericolo di incendio.
I compromessi
Niente è perfetto. L’uso di quel rivestimento protettivo tra il filamento e la wafer riduce leggermente l’efficienza di trasferimento del calore rispetto a una lampada senza rivestimento. Probabilmente sarà necessario aumentare la potenza della lampada o prolungare il tempo di riscaldamento per raggiungere la temperatura desiderata. Ricordatevi comunque di regolare correttamente le impostazioni del PLC, in modo da non superare il valore di soglia e causare temperature eccessive.