Menjaga Kebersihan Bilik Bersih Kelas 100
Jika anda sedang mengeringkan wafer sensor MEMS, anda pasti tahu betapa menyakitkannya apabila debu sekecil zarah pun jatuh pada wafer tersebut. Ini akan membuatkan keseluruhan wafer menjadi tidak berguna. Sungguh membingungkan. Masalahnya ialah kebanyakan elemen pemanasan biasa sebenarnya merupakan sumber penciptaan zarah-zarah halus. Elemen-elemen ini akan melepaskan zarah-zarah halus di tempat yang tidak diinginkan. Kita telah menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan lampu IR berbahan kuarsa tulen. Lampu-lampu ini tidak melepaskan zarah-zarah halus, dan ia juga tidak mengeluarkan bahan logam yang boleh merosakkan wafer. Dengan cara ini, proses pengeluaran dapat berjalan dengan lancar.
Mengapa kuarsa penting?
Kita menggunakan jenis kuarsa tertentu agar sumber haba tidak merosakkan permukaan wafer. Kaca biasa tidak mampu menahan haba yang tinggi; ia akan retak atau menghasilkan bahan-bahan berbahaya seperti VOC semasa dipanaskan. Kuarsa pula mampu menahan haba tanpa rosak. Selain itu, sinaran IR dapat menembusi lapisan cecair pada wafer dan menguapkannya. Tidak perlu sentuhan atau geseran. Ini merupakan satu-satunya cara untuk memastikan struktur MEMS yang sensitif tetap utuh.
Memastikan suhu yang sesuai
Untuk mengeringkan wafer dalam masa beberapa saat, diperlukan kuasa yang tinggi. Kita perlu menyesuaikan voltan dan kuasa filamen agar suhu yang dihasilkan sesuai dengan keperluan kimia wafer tersebut. Namun, masalahnya ialah tiub berkuasa tinggi akan menjadi sangat panas di hujungnya. Jika sistem penyejukan tidak berfungsi dengan baik, tiub tersebut akan rosak. Ini memerlukan keseimbangan yang tepat.
Menguruskan komponen-komponen ini
Kami merancang lampu-lampu ini agar mudah diganti. Waktu henti operasi merupakan perkara yang sangat merugikan, jadi kami memastikan proses penggantian dilakukan dengan mudah. Sama ada menggunakan konektor R7 atau SK, pastikan ia pas dengan baik. Ini penting kerana sebarang pergerakan boleh menyebabkan oksidasi pada titik kontak. Pantaulah kadar penggunaan lampu tersebut. Jika ia beroperasi pada 100%, filamen akan semakin tipis dari masa ke masa. Saya biasanya menyarankan agar orang ramai memantau arus elektrik yang digunakan. Apabila arus mulai menurun, gantilah tiub tersebut. Lebih baik melakukannya mengikut jadual yang ditetapkan, daripada berhadapan dengan lampu yang rosak dan kebocoran vakum di bilik pengeringan.