Mencapai keadaan tanpa pencemaran semasa proses pengeringan wafer MEMS menggunakan lampu IR berketulenan tinggi yang diperbuat daripada kuarsa
Menjaga Kebersihan Bilik Bersih Kelas 100 Jika anda sedang mengeringkan wafer sensor MEMS, anda pasti tahu betapa menyakitkannya apabila debu sekecil...