Houd je klasse-100-reinruimte echt schoon Als je MEMS-sensorwafers droogt, ken je vast het probleem: één klein stofdeeltje op een wafer betekent dat de hele wafer nutteloos is. Het is frustrerend. Het probleem is dat de meeste standaardverwarmings-elementen eigenlijk ‘fabrieken’ zijn voor stofdeeltjes. Ze geven microscopische deeltjes af op precies de plekken waar je dat niet wilt. We hebben dit opgelost door over te stappen op IR-lampen gemaakt van hoogzuiver synthetisch kwarts. Deze lampen geven geen stofdeeltjes af en lekken ook geen metalen deeltjes. Hierdoor blijft je productielijn op de juiste plek. Waarom kwarts belangrijk is We gebruiken een speciaal soort kwarts om te voorkomen dat de warmtebron schade toebrengt aan het oppervlak van de wafer. Standaard glas kan de hitte niet aanvangen; het breekt of geeft irritante organische verbindingen af wanneer het opwarmt. Ons kwarts kan de thermische schokken prima weerstaan. Bovendien dringt het IR-licht recht door het vloeibare laagje op de wafer heen en verdampt dit laagje. Geen contact. Geen wrijving. Geen fysiek contact. Dit is de enige manier om ervoor te zorgen dat de delicate MEMS-structuren intact blijven. De juiste hitte bereiken Om een wafer in een paar seconden droog te maken, heb je veel hitte nodig. We passen de vermogenssterkte en spanning van de lamp aan om de optimale hitte te bereiken. Maar er is een nadeel: lampen met hoge vermogens worden erg heet aan de uiteinden. Als je de koelingssystemen niet goed instelt, kunnen de lampen kapotgaan of kan het kwarts breken onder de druk. Het is een kwestie van balans vinden. Met deze lampen omgaan We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk vervangen kunnen worden. Stoppen met werken kost tijd, dus we hebben het proces zo eenvoudig mogelijk gemaakt. Of je nu R7- of SK-aansluitingen gebruikt, de lampen passen altijd goed. Dat is belangrijk, want elke beweging kan tot oxidatie op de contactpunten leiden. Houd in de gaten hoe vaak de lampen worden gebruikt. Als de stroomtoevoer afneemt, moet je de lamp vervangen. Het is beter om dit op je eigen moment te doen, dan te moeten omgaan met een kapotte lamp en een lek in de droogkamer.