Het voorkomen van problemen: omgaan met deeltjescontaminatie bij UHP-verwarming In een semi-conductoreninstallatie met hoge belasting is het...

Houd je klasse-100-reinruimte echt schoon Als je MEMS-sensorwafers droogt, ken je vast het probleem: één klein stofdeeltje op een wafer betekent dat...

Het behouden van de veiligheid bij het verwarmen van wafers in de buurt van vluchtige chemische stoffen Laten we eerlijk zijn: het plaatsen van...

Laat een kapotte lamp je productie niet verpesten: houd de MEMS-wafer schoon In een systeem met hoge productiesnelheden kan één defecte lamp alles...

Houd op met het verspillen van energie aan de wanden van de apparaten Het opwarmen van een siliciumplaat vereist veel energie. Het probleem is dat de...

Stop met het toestaan dat kapotte lampen je wafers beschadigen Wanneer je wafers onder hoge druk laat drogen, is een kapotte lamp meer dan alleen een...

Het probleem: Het beheersen van de hitte in waferverwerkingsapparaten Laten we het hebben over apparaten die worden gebruikt voor de verwerking van...

Op de lithografieafdeling vormt die veiligheidsafstand rondom het verwarmde wafer geen ‘comfortzone’. Het gaat om een strikte grens voor het proces....

Op de 300mm-lijn is het drogen van de fotoresist geen gewone thermische stap. Het gaat om een cruciale factor voor de nauwkeurigheid van de...

Op de lithografievloer is een afwijking van 1°C in de soft bake of hard bake geen “kleine fout.” Het is een impact op de opbrengst,...