Stop met het toestaan dat kapotte lampen je wafers beschadigen
Wanneer je wafers onder hoge druk laat drogen, is een kapotte lamp meer dan alleen een lastig probleem of wat vertraging. Het is een nachtmerrie.
Als de kwartsbuis barst, belanden er stukjes glas en halogeenresten recht op je silicium. In één ogenblik is je hele batch verwoest. Het is een rampzalige situatie.
We hebben een manier gevonden om dit te voorkomen. We hebben namelijk een fysieke bescherming in de reflector geplaatst.
Hoe de bescherming werkt
De reflector doet natuurlijk zijn gebruikelijke taak: hij kaatst infraroodstraling terug naar de wafer, met behulp van coatingen van hoogwaardig aluminium of goud. Maar hij doet nog iets belangrijks: door de lamp in deze reflecterende ruimte te plaatsen, creëren we een barrière. Als de buis kapotgaat, vangen de wanden de stukjes glas op. In plaats van dat er stukjes glas op de wafers terechtkomen, blijft alles beheerst. Het is een gecontroleerde uitval. Veel beter.
Omgaan met de hitte
Het gebruik van deze lampen zorgt voor enorm veel hitte. We hebben de geometrie van de reflector aangepast, zodat de energie precies daar naartoe gaat waar het nodig is: de oppervlakte van de wafer. Hierdoor komt er minder warmte vrij en duurt het korter om de wafers te drogen.
Maar er is een nadeel: een nauwere focus zorgt voor meer spanning op de uiteinden van de buis. Je moet ervoor zorgen dat de koelventilatoren sterk genoeg zijn om de hitte weg te halen. Anders loopt je het risico dat de lamp opnieuw te vroeg kapotgaat.
Inzetten in de productielijn
We hebben deze lampen ontworpen als vervangingsonderdelen. Je hoeft je hele droogapparaat niet uit elkaar te halen om extra bescherming te krijgen. De reflector kan gemakkelijk op het frame worden bevestigd, zodat er geen extra ruimte nodig is. Als de lamp uiteindelijk kapotgaat, hoef je alleen maar de lamp te vervangen, de reflector schoon te maken en verder te gaan met werken. Hierdoor wordt een catastrofale situatie omgezet in een gewone onderhoudstaak.