Op de lithografieafdeling kan een verschil van een halve graad in de temperatuur tijdens het ‘soft bake’-proces ervoor zorgen dat de kritische dimensies van het materiaal met enkele nanometers veranderen. Het gaat hier niet alleen om hitte – het gaat om precisie en controle.
Standaardlampen kunnen ozon vrijmaken. Dit ozon beïnvloedt de hechting van het fotoresterende materiaal en zorgt bovendien voor oneffenheden in de structuur van het materiaal. Wij gebruiken ozonnvrije infraroodlampen, zodat de thermische omstandigheden precies zo blijven als u ze hebt ingesteld – geen verrassingen.
Wat belangrijk is onder de motorkap Wij gebruiken infraroodemitters met snelle reactietijden, zodat de uitgangsspanning binnen enkele seconden stabiel blijft. In de bewerkingzone blijft de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C, en de herhaalbaarheid tussen verschillende batches blijft constant.
De kwartsomhulling en de materialen die geschikt zijn voor schone ruimtes, zijn ontworpen voor omgevingen van klasse 1–100. Er is geen uitstoot van gassen en er zijn geen deeltjesontstaansprocessen wanneer de lampen aanstaan. De vermogensdichtheid is aangepast aan de eigenschappen van het fotoresterende materiaal, en het spectrale uitgangssignaal is afgestemd op de absorptiekurve van het materiaal – minder thermische vertragingen en minder randeffecten.
Waarom dit belangrijk is bij het bewerken van fotoresterend materiaal Het ‘soft bake’-proces dient er toe om oplosmiddelen te verwijderen en de spanning in het materiaal te regelen. Het ‘hard bake’-proces zorgt er juist voor dat de afbeelding stabiel wordt voordat het materiaal wordt geëtst. Met ozonnvrije infraroodlampen kunt u de breedte van de lijnen nauwkeurig controleren, defecten verminderen en de hoeveelheid herwerkwerk verminderen.
Het systeem werkt 24/7 met een constante uitgangsspanning. U gebruikt minder energie dan bij conventionele methoden, omdat de hitte rechtstreeks in het materiaal terechtkomt, in plaats van in de ruimte rondom het materiaal. Hierdoor neemt de productiecapaciteit toe, zonder dat de kwaliteit achterblijft. De levensduur van de lampen zorgt ervoor dat er lange tijd gebruik gemaakt kan worden van het systeem, met voorspelbare onderhoudsintervallen.
Praktische aspecten De uitgangsspanning van de lampen hangt af van de richting waarin het licht wordt gestuurd. Daarom moet de integratie van de lampen zodanig zijn dat het licht rechtstreeks op het materiaal valt. Gebruik reflecterende elementen om ongewenste hitte buiten de apparatuur te houden.
Als de apparatuur even stilstaat, is er een korte opwarmtijd nodig om een thermisch evenwicht te bereiken. Plan uw bewerkingen dus rondom deze tijd. De compatibiliteit met bestaande apparatuur is eenvoudig, maar controleer wel de mechanische afstanden en de stroomverbindingen met uw medewerkers.