Het verkorten van de cyclustijden in de halfgeleiderverwerking ozonvrije IR versus geforceerde luchtkonvektie
Waarom wachten op warme lucht? IR-verwarming in halfgeleiderverwerking Als je al eens hebt gewerkt met de diepe verwerking van halfgeleiders, weet je...
Zuurstofvrije infrarode lamp
Op de lithografieafdeling kan een verschil van een halve graad in de temperatuur tijdens het ‘soft bake’-proces ervoor zorgen dat de kritische...