Op de productielijn is al een verschil van een halve graad tijdens het drogen van de fotoresist voldoende om de cruciale afmetingen buiten de vereisten te brengen. Een trage droogtijd verlengt de procesduur en kan leiden tot oppervlaktedecontaminatie. Daarom hebben we de verwarmingsunit in de ‘cleanroom’ geplaatst – zodat de variabiliteit in het proces wordt verminderd.
Wat er in is opgenomen
We hebben de verwarmingsunit zo ontworpen dat deze past binnen de thermische eisen voor halfgeleiders. Op het tray blijft de temperatuur binnen een marge van ±0,1°C. De nauwkeurigheid wordt gewaarborgd door een gekalibreerde regelingscyclus die het gewenste temperatuurniveau nauwkeurig bijhoudt. De verwarmingsunit maakt gebruik van kortgolfinfrarood licht, waardoor de respons snel is en de energieverdeling gelijkmatig blijft. Het apparaat is geschikt voor gebruik in een cleanroom: er zijn geen openingen waar stof doorheen kan komen. De stroomvoorziening, spanning en afmetingen passen bij de standaardapparaten, zodat integratie geen probleem oplevert.
Waar het nuttig is
Deze unit past zich aan de thermische eisen aan die nodig zijn voor verschillende processen: drogen van de wafer, behandeling van de fotoresist, verzegeling van de wafer en drogen na het reinigen. Snelle stabilisatie zorgt ervoor dat er geen tijd verloren gaat zonder dat de kwaliteit van het product onder druk komt te staan. De hoge nauwkeurigheid zorgt voor minder defecten en hogere opbrengsten. Er wordt minder energie verbruikt, omdat de warmte op vraag wordt geleverd, in plaats van uit een grote ruimte te komen. De beschikbaarheid van het apparaat is belangrijk: deze units werken 24/7, met onderhoud dat gemakkelijk kan worden gepland.
Belangrijke tips
De positie van het apparaat is belangrijk. Zorg ervoor dat de luchtbeweging in overeenstemming is met de richting van het tray, en laat genoeg ruimte over voor de luchtstromen in de cleanroom. Tijdens de installatie moet je controleren of de afstanden tussen de rails en het type connectoren juist zijn – kleine fouten kunnen leiden tot problemen bij het wisselen van producten. De verwarmingsunit blijft binnen de vereiste parameters bij een omgevingstemperatuur van 22±2°C en een relatieve luchtvochtigheid van 45±5%. Buiten deze grenzen neemt de controlemarge toe.